金竟科技产品综合手册

产品手册中含阴极荧光成像系统系列产品、电子束曝光系列产品和超低温冷台系列产品的综合介绍。
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金竟科技产品综合手册
产品手册中含阴极荧光成像系统系列产品、电子束曝光系列产品和超低温冷台系列产品的综合介绍。
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Pharos 310 电子束曝光系统
Pharos 310是金竟科技自主制造的国产电子束曝光系统，配置有激光干涉工件台，拼接及套刻精度优于50nm。
文件大小： 4.69MB
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阴极荧光成像系统——Sunny
Sunny系列阴极荧光成像系统可以实现微、纳米尺度的阴极荧光成像。
文件大小： 2.26MB
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阴极荧光成像及光谱探测系统——Rainbow
Rainbow产品可在纳米空间分辨率下实现各类材料的阴极荧光成像和光谱测量。
文件大小： 2.61MB
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电子束曝光系列——Pharos_Ex
图形发生器控制束闸的通断，配合高精度X-Y纳米位移台，可实现写场的拼接及套刻，拼接及套刻精度优于100nm。
文件大小： 2.73MB
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扫描电镜用超低温冷台——GSC_MK系列
低温冷台在材料、半导体、生物样品等检测中具有广泛应用。
文件大小： 2.57MB
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