阴极荧光系统在半导体领域的应用-Sunny

阴极荧光系统作为电镜的功能部件,能够在微米/纳米尺度下研究材料的发光特性。 主要应用于以下领域: 1. 半导体领域:可以检测器件缺陷、改进原材料工艺、进行集成电路失效分析。 2. 生物医药领域:可以进行活性药物荧光标记、癌细胞荧光标记等。 3. 地质领域:可以辅助定年、找油、找气、找矿。 此外,阴极荧光在材料、微电子、考古等领域也有应用。

产品介绍

Sunny 系列阴极荧光成像系统能够实现微、纳米尺度的阴极荧光成像,具有高探测灵敏度等优势,尤其适合半导体材料与器件、地质类样品开展高效率阴极荧光强度表征与分析。

CL分析在地质学、地球和海洋科学到半导体、太阳能电池、光子学、等离子体光学和生命科学的广泛领域都很受欢迎。不同的CL成像模式允许研究光的不同属性,如发射强度、光谱组成等。这些反过来又有助于了解不同的样品特性。



一、硅片上转移的纳米柱,可实现阴极荧光的纳米尺度高分辨成像



二、GaN位错识别与位错密度统计




三、Sunny系列产品可实现正装 Mini LED 样品大面积 CL 成像


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